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CMOS MEMS技术与应用
(美)O. Brand ,(美)G. K. Fedder著;黄庆安,秦明译2007 年出版500 页ISBN:7564107847本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用,包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其电路或系统的集成化技术,CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器和RF器件及系统中的...
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