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电子束曝光微纳加工技术
顾文琪主编;顾文琪,王理明,薛虹,方光荣,张福安,刘祖京,黄经筒,杨忠山著2004 年出版310 页ISBN:7563913009本书作者长期从事电子束曝光技术的研究和装备的研制,积累了丰富的经验。本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景,同时,详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和...
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