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微机械与微细加工技术
苑伟政,马炳和编著(西北工业大学机电学院)2000 年出版243 页ISBN:7561212747本书系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容和成果,包括微机械理论基础、微机械材料与微结构、微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术等等。...
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MEMS集成设计技术及应用
苑伟政,谢建兵,焦文龙著2014 年出版294 页ISBN:9787118095838全书共分六章,第一章简述微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状,第二章介绍微米纳米结构的特征几何参量测量技术,第三章介绍微米纳米结构的动态特性测试技术,第四章介绍微米纳米力学量测试技术,第五章介绍...
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泛结构化微机电系统集成设计方法
苑伟政,常洪龙著2010 年出版218 页ISBN:9787561227589本书提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法,系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上,提...
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微机电系统(MEMS)制造技术
苑伟政,乔大勇著2014 年出版241 页ISBN:9787030399748微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科,它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响,并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实...
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