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第一章 电荷耦合器件的物理机理 1

1.1 引言 1

1.2　MOS物理过程简介 1

1.3　电荷耦合器件的基本工作原理 7

1.4　埋沟CCD 18

1.5　电荷的注入和检测方法 23

第二章　电荷耦合器件的制造工艺 31

2.1 引言 31

2.2　铝栅工艺 31

2.3　常用的CCD工艺 32

2.4　器件制造工艺流程举例 35

2.5　工艺和CCD主要参数的关系 35

2.6　戽链器件（BBD）的工艺 36

2.7　埋沟器件的工艺 37

2.8　辅助外部元件的集成 38

第三章　CCD延时线和延时线滤波器 39

3.1 CCD信号处理器件及其应用概况 39

3.2 CCD延时线的性能限制 40

3.3 各种结构的CCD延时线及其工作方式 46

3.4 延时线滤波器 58

3.5 递归滤波器的频域、时域特征 60

3.6 延时线滤波器应用举例 68

第四章 电荷域的滤波 84

4.1 基本无源CCD谐振器 84

4.2 CCD双谐振器 87

4.3 电荷定向网络的综合 90

4.4 电荷定向滤波器设计实例 97

第五章 CCD横向滤波器及其在线性变换中的应用 107

5.1 CCD横向滤波器 107

5.2 固定加权分裂电极的CCD横向滤波器 112

5.3 横向滤波器用于线性变换 130

5.4 电控编程横向滤波器（EPTF） 156

第六章 固体摄象器中的CCD 179

6.1 引言 179

6.2 MOS电容的光照特性 179

6.3 成象原理与系统 181

6.4 CCD线阵象感器 183

6.5 CCD面阵象感器 185

6.6 电荷注入器件（CID） 189

6.7 固态彩色摄象机系统 192

6.8 固体象感器的性能极限 207

6.9 CCD微光成象器件 212

6.10 CCD红外成象系统 223

参考文献 243

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