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第一章 绪论 1

1.1　激光干涉测量原理 1

1.2　半导体激光干涉同其他光干涉的比较 5

1.3　半导体激光干涉技术的分类 8

参考文献 12

第二章　半导体激光调制相干理论 15

2.1　LD的调制理论 15

2.2　频率调制LD的相干原理 33

2.3　LD的调制驱动方法 40

参考文献 46

第三章　影响干涉的半导体激光器特性 48

3.1　LD温度特性及控制方法 48

3.2　LD输出光束特性和改善方法 55

3.3　LD的稳频特性及稳频方法 61

参考文献 68

第四章　线性调制干涉 70

4.1　线性调制LD外差干涉技术 70

4.2　参考技术 73

4.3　傅里叶变换技术处理干涉信号 76

4.4　多光束干涉技术 79

参考文献 103

第五章　正弦调制干涉 105

5.1　声光调制准外差LD干涉技术 105

5.2　压电陶瓷驱动准外差调制干涉技术 118

5.3　波长偏移外差LD干涉技术 136

5.4　双相位调制外差LD干涉技术 141

5.5　正弦调制外差干涉表面轮廓测量 147

参考文献 156

第六章　多波长干涉 157

6.1 小数条纹确定长度的基本原理 157

6.2　小数重合法外差干涉技术 159

6.3　双波长合成波长干涉 166

6.4　LD双波长合成波长稳定性分析 172

6.5 多模LD的三波长干涉技术 181

参考文献 187

第七章　外腔谐振干涉 189

7.1　单模LD外腔谐振测量方法 189

7.2　双LD外腔谐振测量方法 193

7.3　多模LD外腔谐振测量方法 201

参考文献 210

第八章　全息光栅干涉 211

8.1　全息光栅干涉位移测量原理 211

8.2　全息光栅干涉型触针传感原理 218

参考文献 228

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