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引言 1

上篇压电薄膜制备技术 7

第一章 压电薄膜基础理论 7

1.1薄膜生长与薄膜结构 7

1.2压电原理与铁电效应 10

参考文献 17

第二章 压电薄膜制备技术与进展 21

2.1压电薄膜的制备方法 21

2.2压电薄膜研究进展 32

2.3压电薄膜性能表征 68

参考文献 73

第三章 三元系PMnN - PZT铁电薄膜的研究 78

3.1铁电材料发展简介 78

3.2三元系PMnN-PZT铁电材料特性 82

3.3三元系PMnN-PZT铁电薄膜制备与性能表征 84

参考文献 118

下篇薄膜压电器件制备技术 127

第四章 声学器件原理与应用 127

4.1压电器件的分类 127

4.2声学器件原理与应用 158

参考文献 162

第五章 薄膜体声波谐振器理论研究 165

5.1薄膜体声波谐振器的研究进展与热点 165

5.2传输矩阵法理论 170

5.3薄膜体声波谐振器理论仿真与模拟 172

参考文献 187

后记 190

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